本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置的研磨墊檢測(cè)方法與研磨墊檢測(cè)裝置,尤指以動(dòng)態(tài)方式進(jìn)行對(duì)研磨墊表面進(jìn)行檢測(cè)的方法與裝置,利用檢測(cè)裝置以氣體隔離出供研磨墊露出的隔離區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)讓化學(xué)機(jī)械研磨裝置可在不中斷制程的狀態(tài)下,對(duì)研磨墊進(jìn)行檢測(cè),并達(dá)到更加精準(zhǔn)的檢測(cè)結(jié)果,進(jìn)而可更加適時(shí)的對(duì)拋光墊進(jìn)行整修與更換。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械研磨裝置的研磨墊檢測(cè)方法與研磨墊檢測(cè)裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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