本發(fā)明公開了一種原位
電化學SEM液體
芯片組件、其制備方法與應用。所述芯片組件包括密封結(jié)合的基片和蓋片以及儲液池和至少兩個電極,所述儲液池至少用以容納電解液,該至少兩個電極彼此間隔設置,所述電極的至少局部分布于儲液池內(nèi),所述基片或蓋片上與儲液池對應位置處還分布有觀察窗口,所述觀察窗口至少用以對儲液池內(nèi)的物質(zhì)進行觀測,所述觀察窗口上密封覆蓋有至少可供電子束通過的薄膜,所述芯片組件還包括與儲液池連通的注液孔。本發(fā)明大幅簡化了原位SEM芯片組件的構(gòu)造,降低其制造成本及使用難度,且其通用性強,利于在電化學反應過程中進行原位SEM表征等。
聲明:
“原位電化學SEM液體芯片組件、其制備方法與應用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)