本實(shí)用新型公開(kāi)了一種化學(xué)氣相淀積反應(yīng)室用氣體注入環(huán),包括氣體注入環(huán)本體、進(jìn)氣旋鈕和反應(yīng)室本體,所述氣體注入環(huán)本體的內(nèi)環(huán)設(shè)置有調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu),所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括噴氣管、翻轉(zhuǎn)軸、鎖緊螺母、翻轉(zhuǎn)固定座、進(jìn)氣口和波紋管,所述氣體注入環(huán)本體的內(nèi)環(huán)均勻連通有噴氣管,所述噴氣管與氣體注入環(huán)本體之間設(shè)置有翻轉(zhuǎn)固定座,本實(shí)用新型通過(guò)在噴氣管的頂端設(shè)置有翻轉(zhuǎn)軸,噴氣管與翻轉(zhuǎn)軸固定,利用翻轉(zhuǎn)軸可在翻轉(zhuǎn)固定座上進(jìn)行伸縮,伸縮完成后并利用兩側(cè)鎖緊螺母進(jìn)行鎖緊,在翻轉(zhuǎn)的同時(shí),由于采用波紋管連接噴氣管和氣體注入環(huán)本體,因此可將噴氣管隨意翻轉(zhuǎn),不會(huì)造成氣體測(cè)出的情況,繼而改變噴氣角度,提升噴氣均勻性。
聲明:
“化學(xué)氣相淀積反應(yīng)室用氣體注入環(huán)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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