本申請公開了一種壓阻式自檢測自激勵(lì)SECM探針,涉及掃描
電化學(xué)顯微鏡領(lǐng)域,包括主體支撐結(jié)構(gòu);與主體支撐結(jié)構(gòu)集成的懸臂梁;設(shè)于懸臂梁表面的針尖;覆蓋于針尖的金屬層,用于連接輸入端,并通過輸入端輸入的電壓或電流產(chǎn)生電熱作用,使懸臂梁發(fā)生形變,以使懸臂梁向待測樣品施加作用力;設(shè)于主體支撐結(jié)構(gòu)上表面的惠斯通電橋,用于當(dāng)懸臂梁向待測樣品施加作用力時(shí),輸出與作用力對應(yīng)的檢測信號。本申請針尖上的金屬層在電熱作用下使懸臂梁產(chǎn)生彎曲形變,從而向待測樣品施加作用力,實(shí)現(xiàn)自激勵(lì);當(dāng)懸臂梁產(chǎn)生彎曲形變,惠斯通電橋中可變電阻的阻值發(fā)生變化,輸出檢測信號,實(shí)現(xiàn)壓阻自檢測,不需設(shè)置四象限探測器和激光器,簡化結(jié)構(gòu)和操作難度。
聲明:
“壓阻式自檢測自激勵(lì)SECM探針” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)