本發(fā)明公開了樣品臺、薄膜生長設(shè)備和原位測量系統(tǒng)。該原位樣品臺包括導(dǎo)熱樣品座、配套使用的用于固定襯底的第一環(huán)形絕緣壓片、第二環(huán)形絕緣壓片和緊固件,以及兩組探針組件。探針組件中探針臂支架上部設(shè)有探針臂通道且中部設(shè)有彈性件,探針臂穿過探針臂通道且可上下移動和/或水平轉(zhuǎn)動;彈性件的一端與探針臂支架相連,彈性件的另一端與探針臂可拆卸相連;金屬導(dǎo)線貫穿探針臂且其一端與金屬探針相連另一端適于與
電化學(xué)測試裝置相連;彈性件與探針臂相連時處于拉伸狀態(tài),探針臂在彈性件的回彈力作用下可使金屬探針與集電極接觸。采用該樣品臺可實現(xiàn)薄膜生長設(shè)備和電化學(xué)測試裝置的耦合,原位精確、方便、高效地測試薄膜樣品的高溫電化學(xué)性能。
聲明:
“樣品臺、薄膜生長設(shè)備和原位測量系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)