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石英諧振子超精密加工方法及裝置

928   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:36:08
本發(fā)明屬于機(jī)械加工技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種石英諧振子超精密加工方法及裝置。首先采用普通成型方法加工出石英諧振子的外表面,然后使用專用砂輪進(jìn)行粗磨、半精磨、化學(xué)機(jī)械拋光,結(jié)合先進(jìn)的在線測(cè)量技術(shù),對(duì)拋光后的表面進(jìn)行檢測(cè),對(duì)超出允差范圍的點(diǎn)位進(jìn)行修拋至滿足要求;采用專用夾具固定加工好的外表面,再對(duì)諧振子內(nèi)表面進(jìn)行成型磨削化學(xué)機(jī)械拋光及檢測(cè)加工。本發(fā)明的專用夾具與砂輪的特點(diǎn)為中空傘狀,砂輪磨削部分與被加工面形狀一致,加工過程設(shè)防護(hù)裝置及拋光液回收裝置,可保證加工過程綠色環(huán)保,此外,本發(fā)明提供的加工方法和裝置,具有加工效率高,加工同軸度好,加工表面損傷層低等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“石英諧振子超精密加工方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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