本發(fā)明提供一種換液監(jiān)控裝置,通過(guò)在蝕刻機(jī)臺(tái)的藥液循環(huán)管路上設(shè)置取樣管和
電化學(xué)工作站,通過(guò)取樣管對(duì)藥液進(jìn)行取樣,通過(guò)電化學(xué)工作站對(duì)藥液進(jìn)行電化學(xué)分析,得出所述藥液的離子濃度范圍,從而根據(jù)所述藥液的粒子濃度范圍判斷是否需要換液,準(zhǔn)確把控?fù)Q液節(jié)點(diǎn),避免藥液浪費(fèi)或產(chǎn)品制程異常。
聲明:
“換液監(jiān)控裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)