本申請公開了一種測量包括用于車輛流體在內(nèi)的流體壓力的壓力傳感器設備和組裝測量流體壓力的壓力傳感器的方法。壓力傳感器包括用于壓力測量的MEMS模具。該MEMS模具附接在玻璃底座元件上。該底座元件經(jīng)由能夠附接在流體容納腔壓力端口的安裝框架來機械保持在位。這里的技術(shù)提供了MEMS模具與壓力傳感器的堅固連接,同時從MEMS模具解除熱膨脹應力。采用該解除技術(shù),壓力測量可靠性和精度都得以改善。由于從MEMS模具解除熱膨脹應力,選擇傳感器密封材料主要考慮自身的魯棒化學特性,而不是結(jié)構(gòu)特征。這項技術(shù)還提供了精確,持久耐用并且成本效率高的壓力傳感器。
聲明:
“壓力傳感器設備及其組裝方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)