一種化學(xué)氣相淀積裝置,該裝置包括用來把母料分配給位于汽化艙內(nèi)的蒸發(fā)器的分配器。輸送導(dǎo)管與處理艙一起參與蒸發(fā)。流量計位于輸送導(dǎo)管內(nèi),以便測定通過輸送導(dǎo)管的母料流量。另外,流量控制器也位于輸送導(dǎo)管內(nèi),以便根據(jù)實測流速控制母料的流量。
聲明:
“薄膜淀積系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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