本發(fā)明涉及一種應(yīng)用超聲表面波無損檢測薄膜厚度的方法,包括:根據(jù)樣片薄膜與基底的材料參數(shù),計算其理論頻散曲線;利用激光激發(fā)超聲表面波系統(tǒng)對樣片進行檢測,在距離激發(fā)源一定距離的兩個位置處通過壓電探測器探測表面波信號;計算出其幅度特性和相位特性,求解出聲表面波的相速度,獲得表面波的實驗頻散曲線;進行一次多項式擬合;選擇理論頻散曲線上的一個數(shù)據(jù)點,將該數(shù)據(jù)點的波速值v帶入到擬合曲線計算其對應(yīng)的頻率值;通過比較理論頻散曲線中的頻率膜厚積與擬合曲線中的頻率即可求出樣片的厚度。本發(fā)明可以提高表面波波速測量的準確性。
聲明:
“應(yīng)用超聲表面波無損檢測薄膜厚度的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)