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光學無損檢測環(huán)形內(nèi)壁表面的裝置

897   編輯：管理員   來源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:57:55
本發(fā)明涉及一種光學無損檢測環(huán)形內(nèi)壁表面的裝置,其特征在于:在被測環(huán)形內(nèi)壁的軸線上依設(shè)置細玻璃棒、擴束裝置、剪切元件、成像裝置、線陣CCD和旋轉(zhuǎn)臺;剪切元件成像裝置、和線陣CCD固定在旋轉(zhuǎn)臺上,且線陣CCD的主光軸與旋轉(zhuǎn)軸重合;細玻璃棒設(shè)置在環(huán)形內(nèi)壁軸線距環(huán)形內(nèi)壁中心小于200mm的位置,并平行于環(huán)形內(nèi)壁軸線放置;激光器的光軸與玻璃棒的中心軸線呈0.01°～20°角度放置;線陣CCD采集的圖像信號輸出至計算機,計算機的控制信號輸出至旋轉(zhuǎn)臺控制旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)。利用線陣CCD推掃,根據(jù)待測樣品表面設(shè)計的微位移平臺的移動軌道,沿所述移動軌道推掃得到的散斑圖消除了散斑像的離焦現(xiàn)象,提高了缺陷檢測的靈敏度。
聲明：
“光學無損檢測環(huán)形內(nèi)壁表面的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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無損檢測
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