本發(fā)明涉及一種基于透過率光譜的快速無損獲得透明薄膜厚度的方法。所述方法包括如下步驟:獲得透明薄膜的透過率光譜;分別連接相鄰兩波峰、相鄰兩波谷,做出光譜曲線的包絡(luò)線;標(biāo)記相鄰兩個波峰所在位置,將兩個波峰的波長分別記為λ
1、λ
2,然后分別標(biāo)記兩個波峰與包絡(luò)線相交處的透射率的最大值、最小值,分別記為T
M1,T
m1和T
M2,T
m2;分別計算λ
1、λ
2處的折射率n
1和n
2;根據(jù)兩相鄰波峰的折射率,按照如下公式計算透明薄膜厚度d。該方法利用透過率光譜來計算透明薄膜厚度,快速、便捷、無損傷,不影響薄膜的二次加工及后續(xù)工藝,可隨時檢測薄膜的成膜質(zhì)量。
聲明:
“基于透過率光譜的快速無損獲得透明薄膜厚度的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)