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光子晶體表面周期性結(jié)構(gòu)的檢測方法

744   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:07
一種光子晶體表面周期性結(jié)構(gòu)的檢測方法,屬于平面結(jié)構(gòu)檢測、光測力學技術領域。本發(fā)明以激光掃描共聚焦顯微鏡的掃描線為參考柵,光子晶體表面周期性結(jié)構(gòu)為試件柵,通過使兩柵發(fā)生干涉形成清晰的LSCM云紋,再通過提取云紋條紋方程,將其代入推導的反演公式求解試件柵方程,進而既可求出物體表面微納米尺度的周期性結(jié)構(gòu)尺寸、又可反映其在大范圍內(nèi)的整體結(jié)構(gòu)特征。此方法綜合了云紋法靈敏度高、測量視場大,及激光共聚焦顯微鏡分辮率高、無需真空環(huán)境、標本制備簡單、對樣品無損傷、空間定位方便等優(yōu)點,測量精度高,操作簡單,可進行全場測試,檢測成本低,對表面存在多種取向周期性結(jié)構(gòu)的光子晶體試樣有獨特的測量優(yōu)勢。
聲明：
“光子晶體表面周期性結(jié)構(gòu)的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
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