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光柵線寬比測(cè)量方法

703   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:31
本發(fā)明提出一種光柵線寬比測(cè)量方法,包括:提供SEM儀器以及已知線寬比的光柵;將一直線寬比的光柵放置于SEM儀器的載物臺(tái)中央,調(diào)節(jié)放大倍數(shù)直至形成清晰地云紋條紋,記錄形狀參數(shù),計(jì)算當(dāng)前放大倍數(shù)下掃描線的線寬比,最終標(biāo)定出一系列不同放大倍數(shù)下的SEM儀器掃描線線寬比;將未知線寬比的光柵放置于SEM載物臺(tái)中央,調(diào)節(jié)SEM儀器的放大倍數(shù)直至形成清晰地云紋條紋,記錄形狀參數(shù),查詢前面標(biāo)定得到當(dāng)前放大倍數(shù)下SEM儀器掃描線的線寬比,結(jié)合反演方法計(jì)算得到未知線寬比的光柵的線寬比。本發(fā)明具有靈敏度高、測(cè)量視場(chǎng)大,以及SEM分辨率高、對(duì)樣品無損傷、空間定位方便等優(yōu)點(diǎn),并且具有操作簡(jiǎn)單,過程快速、表征區(qū)域大、檢測(cè)成本低等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“光柵線寬比測(cè)量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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