1.本發(fā)明涉及半導(dǎo)體高純石英加工環(huán)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝。

背景技術(shù)：

2.石英玻璃是玻璃的一種，其他玻璃有各種各樣的成分，而石英玻璃的主要成分是sio2，石英玻璃的純度非常高、耐熱性、透光性、電氣絕緣性和化學(xué)穩(wěn)定性等均非常優(yōu)良，故半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中正好需要這樣優(yōu)良的性能，氧和硅在自然中組合形成氧化硅，包括氧化硅砂和無色水晶，被開采和熔煉成石英，然后被制造成最終石英制品，由于石英材料具有硬度高、易碎的特點(diǎn)，所以石英加工一直是業(yè)內(nèi)的難點(diǎn)；

3.目前行業(yè)加工的石英制品尺寸精度低，表面狀態(tài)比較粗糙，半導(dǎo)體級石英制品要求的材料的純度很高，加工精度要求0.01mm以上，很難滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求；

4.針對上述的技術(shù)缺陷，現(xiàn)提出一種解決方案。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

5.為了克服上述的技術(shù)問題，本發(fā)明的目的在于提供了一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝：通過將高純石英母材晶錠經(jīng)過切割、水切割、平面研磨、mc加工、脫脂洗凈、化學(xué)洗凈、包裝，最終得到半導(dǎo)體級石英環(huán)，解決了現(xiàn)有的石英制品尺寸精度低，表面狀態(tài)比較粗糙，半導(dǎo)體級石英制品要求的材料的純度很高，很難滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求的問題。

6.本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

7.一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝，包括以下步驟：

8.步驟一：將石英錠一端放置于晶錠切割設(shè)備的輸送輥上，通過限位座夾持，將石英錠另一端放入夾持機(jī)構(gòu)的內(nèi)腔中，通過夾持機(jī)構(gòu)夾持，通過移動電機(jī)和輸送電機(jī)帶動石英錠向落刀槽的頂部移動，通過金剛石切割刀將石英錠進(jìn)行切割，形成石英圓片；

9.步驟二：將石英圓片放置于水切割機(jī)的平臺上面進(jìn)行內(nèi)外徑加工，形成石英圓環(huán)粗品，內(nèi)外徑余量為5mm,用于后續(xù)mc加工；

10.步驟三：將石英圓環(huán)粗品進(jìn)行平面研削加工，保證平面度以及平行度要求達(dá)0.02mm以內(nèi)，平面研削之后進(jìn)行mc加工，通過mc將其余所有特征尺寸加工出來，得到石英圓環(huán)半成品；

11.步驟四：將石英圓環(huán)半成品進(jìn)行脫脂洗凈，洗凈時(shí)間為0.5小時(shí)，主要用于去除產(chǎn)品表面的有機(jī)物；

12.步驟五：脫脂洗凈之后進(jìn)行純水超聲波清洗，洗凈時(shí)間控制0.5小時(shí)，目的是去除石英產(chǎn)品表面殘留的有機(jī)物、無機(jī)物和浮于產(chǎn)品表面的微粒；

13.步驟六：純水超聲波清洗后用質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2

?

10％的聚天冬氨酸水溶液洗凈，進(jìn)行脫金屬處理，目的是于去除產(chǎn)品表面的金屬元素；

14.步驟七：之后進(jìn)行最終檢查，檢查項(xiàng)目包含尺寸要求，表面粗糙度要求，產(chǎn)品平面

度，垂直度、表面輪廓度；

15.步驟八：再次進(jìn)行脫脂洗凈，洗凈時(shí)間控制0.5小時(shí)，洗凈溫度控制在100℃，脫脂洗凈后去除有機(jī)物、金屬離子和顆粒；

16.步驟九：最后進(jìn)行烘干，烘干溫度為100℃，烘干時(shí)間為0.5小時(shí)以上，烘干之后進(jìn)行包裝，得到半導(dǎo)體級石英環(huán)。

17.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述晶錠切割設(shè)備包括安裝架、輸送機(jī)、支撐架、切割電機(jī)、壓料氣缸、滑道、夾持機(jī)構(gòu)，所述安裝架的一端設(shè)置有輸送機(jī)，所述安裝架靠近輸送機(jī)的一端頂部安裝有支撐架，所述安裝架的頂部遠(yuǎn)離支撐架的一端兩側(cè)均安裝有滑道，所述滑道上滑動連接有夾持機(jī)構(gòu)。

18.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述夾持機(jī)構(gòu)包括滑動底座、移動電機(jī)、安裝桿、安裝板、夾持板、拉伸氣缸、固定板、固定桿、連接板、翻轉(zhuǎn)板、連接臂、夾持氣缸、傳動桿、齒輪柱、齒形板，所述滑動底座的頂部兩端均嵌入安裝有安裝桿，所述安裝桿的頂部兩端均安裝有安裝板，兩個(gè)所述安裝板頂部相互靠近的一側(cè)均豎直安裝有夾持板，兩個(gè)所述安裝板頂部相互遠(yuǎn)離的一側(cè)均豎直安裝有兩個(gè)拉伸氣缸，兩個(gè)所述安裝桿的中部之間安裝有連接板，所述連接板的頂部軸心處轉(zhuǎn)動安裝有翻轉(zhuǎn)板，所述翻轉(zhuǎn)板的兩端頂部均轉(zhuǎn)動安裝有連接臂，兩個(gè)所述連接臂的一端分別轉(zhuǎn)動連接至兩個(gè)安裝板上，其中一個(gè)所述安裝板的底部通過連接塊連接至夾持氣缸的活動桿上，所述夾持氣缸嵌入安裝在滑動底座的頂部。

19.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：兩個(gè)所述安裝板的正上方均設(shè)置有固定板，所述固定板安裝在拉伸氣缸的活動桿上，其中一個(gè)安裝板的一側(cè)上等距螺紋連接有若干個(gè)固定桿，若干個(gè)所述固定桿的一端活動貫穿另一個(gè)安裝板。

20.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述滑動底座的一側(cè)安裝有移動電機(jī)，所述滑動底座的底部中間設(shè)置有齒形板，所述齒形板安裝在安裝架的頂部，所述滑動底座的內(nèi)腔中轉(zhuǎn)動安裝有傳動桿，所述傳動桿的一端連接至移動電機(jī)的輸出軸上，所述傳動桿的中部套設(shè)有齒輪柱，所述齒輪柱與齒形板嚙合連接。

21.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述支撐架包括支撐橫板、支撐立板，所述支撐橫板的兩端底部均安裝有支撐立板，兩個(gè)所述支撐立板分別安裝在安裝架的頂部兩側(cè)，所述支撐橫板的兩側(cè)下方分別設(shè)置有限位座、金剛石切割刀，所述限位座的頂部兩端分別連接至兩個(gè)壓料氣缸的活動桿上，所述限位座的底部呈弧形槽狀，且弧形槽內(nèi)壁上等弧度安裝有若干個(gè)滾輪，所述金剛石切割刀的兩端均安裝有螺紋座，所述螺紋座位于支撐立板的內(nèi)腔中，所述支撐立板的內(nèi)壁上安裝有滑軌，所述螺紋座與滑軌滑動連接，所述支撐立板的內(nèi)腔中轉(zhuǎn)動安裝有螺紋桿，所述螺紋桿貫穿螺紋座并與螺紋座螺紋連接，兩個(gè)所述螺紋桿的頂端貫穿支撐橫板的兩端并連接至兩個(gè)切割電機(jī)的輸出軸上。

22.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：兩個(gè)所述支撐立板的底部之間安裝有落刀槽和輸送輥，所述落刀槽位于金剛石切割刀的正下方，所述輸送輥位于限位座的正下方，其中一個(gè)所述支撐立板的一側(cè)底部安裝有輸送電機(jī)，所述輸送電機(jī)的輸出軸連接至輸送輥的一端上。

23.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述晶錠切割設(shè)備的工作過程如下：

24.步驟一：將石英錠一端放置于輸送輥上，啟動壓料氣缸，壓料氣缸的活動桿延伸帶動限位座下降將石英錠夾持，將石英錠另一端放入夾持機(jī)構(gòu)的內(nèi)腔中，石英錠位于安裝桿的頂部，將固定桿貫穿一個(gè)固定板后螺紋連接在另一個(gè)固定板上；

25.步驟二：啟動夾持氣缸和拉伸氣缸，夾持氣缸的活動桿收縮，拉動其中一個(gè)安裝板向連接板靠近，通過翻轉(zhuǎn)板、連接臂帶動另一個(gè)安裝板也向連接板靠近，兩個(gè)安裝板相互靠近的過程中將石英錠的兩側(cè)夾持，拉伸氣缸的活動桿收縮帶動固定板下降，從而帶動固定桿下降將石英錠的上側(cè)夾持；

26.步驟三：啟動移動電機(jī)，移動電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動傳動桿以及齒輪柱轉(zhuǎn)動，由于齒輪柱、齒形板嚙合連接，從而帶動滑動底座在滑道滑動，啟動輸送電機(jī)，輸送電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動輸送輥轉(zhuǎn)動，帶動石英錠向落刀槽的頂部移動；

27.步驟四：啟動切割電機(jī)，切割電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動螺紋桿轉(zhuǎn)動，由于螺紋桿、螺紋座之間螺紋連接，從而帶動螺紋座在滑軌上移動，進(jìn)而帶動金剛石切割刀下降將石英錠進(jìn)行切割，形成石英圓片；

28.步驟五：石英圓片落至輸送機(jī)上輸送至下一工序。

29.本發(fā)明的有益效果：

30.本發(fā)明的生產(chǎn)工藝中使用的石英材料是高純石英母材(管、棒、砣)，通過晶錠切割、水切割、平面研磨、mc加工、脫脂洗凈、化學(xué)洗凈、包裝，最終得到半導(dǎo)體級石英環(huán)，該生產(chǎn)工藝的優(yōu)點(diǎn)是工藝路線簡單，石英加工制品尺寸精度高，表面洗凈潔凈度高，可批量制造，能夠滿足目前半導(dǎo)體行業(yè)需求；

31.該生產(chǎn)工藝中通過使用晶錠切割設(shè)備對石英錠進(jìn)行晶錠切割，通過將石英錠一端放置于輸送輥上，啟動壓料氣缸，壓料氣缸的活動桿延伸帶動限位座下降將石英錠夾持，將石英錠另一端放入夾持機(jī)構(gòu)的內(nèi)腔中，石英錠位于安裝桿的頂部，將固定桿貫穿一個(gè)固定板后螺紋連接在另一個(gè)固定板上，啟動夾持氣缸和拉伸氣缸，夾持氣缸的活動桿收縮，拉動其中一個(gè)安裝板向連接板靠近，通過翻轉(zhuǎn)板、連接臂帶動另一個(gè)安裝板也向連接板靠近，兩個(gè)安裝板相互靠近的過程中將石英錠的兩側(cè)夾持，拉伸氣缸的活動桿收縮帶動固定板下降，從而帶動固定桿下降將石英錠的上側(cè)夾持，啟動移動電機(jī)，移動電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動傳動桿以及齒輪柱轉(zhuǎn)動，由于齒輪柱、齒形板嚙合連接，從而帶動滑動底座在滑道滑動，啟動輸送電機(jī)，輸送電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動輸送輥轉(zhuǎn)動，帶動石英錠向落刀槽的頂部移動，啟動切割電機(jī)，切割電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動螺紋桿轉(zhuǎn)動，由于螺紋桿、螺紋座之間螺紋連接，從而帶動螺紋座在滑軌上移動，進(jìn)而帶動金剛石切割刀下降將石英錠進(jìn)行切割，形成石英圓片，石英圓片落至輸送機(jī)上輸送至下一工序；該晶錠切割設(shè)備通過限位座將石英錠一端夾持，夾持機(jī)構(gòu)將石英錠另一端夾持，夾持穩(wěn)定性高，避免了石英錠在切割時(shí)晃動導(dǎo)致切割不夠平整，保證了晶錠切割的精確度，也降低了石英錠原料的損耗，通過移動電機(jī)和輸送電機(jī)帶動石英錠向落刀槽的頂部移動，在移動過程中夾持機(jī)構(gòu)仍將石英錠進(jìn)行夾持，而限位座通過若干個(gè)滾輪也能在不影響夾持效果時(shí)能夠?qū)⑹㈠V移動，從而保持了石英錠前后切割的狀態(tài)相同，避免成批石英環(huán)的誤差大，也避免了重新夾持導(dǎo)致晶錠切割效率降低，自動化程度高，使用便捷。

附圖說明

32.下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步的說明；

33.圖1是本發(fā)明中晶錠切割設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；

34.圖2是本發(fā)明中夾持機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

35.圖3是本發(fā)明中夾持機(jī)構(gòu)的內(nèi)部俯視圖；

36.圖4是本發(fā)明中固定板、固定桿的連接視圖；

37.圖5是本發(fā)明中滑動底座的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

38.圖6是本發(fā)明中支撐架的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

39.圖7是本發(fā)明中限位座、滾輪的連接視圖；

40.圖8是本發(fā)明中支撐架的內(nèi)部俯視圖；

41.圖中：101、安裝架；102、輸送機(jī)；103、支撐架；104、切割電機(jī)；105、壓料氣缸；106、滑道；107、夾持機(jī)構(gòu)；701、滑動底座；702、移動電機(jī)；703、安裝桿；704、安裝板；705、夾持板；706、拉伸氣缸；707、固定板；708、固定桿；709、連接板；710、翻轉(zhuǎn)板；711、連接臂；712、夾持氣缸；713、傳動桿；714、齒輪柱；715、齒形板；301、支撐橫板；302、支撐立板；303、限位座；304、金剛石切割刀；305、螺紋座；306、滑軌；307、螺紋桿；308、落刀槽；309、滾輪；310、輸送輥；311、輸送電機(jī)。

具體實(shí)施方式

42.下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

43.實(shí)施例1：

44.本實(shí)施例為一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝，包括以下步驟：

45.步驟一：將石英錠一端放置于晶錠切割設(shè)備的輸送輥310上，通過限位座303夾持，將石英錠另一端放入夾持機(jī)構(gòu)107的內(nèi)腔中，通過夾持機(jī)構(gòu)107夾持，通過移動電機(jī)702和輸送電機(jī)311帶動石英錠向落刀槽308的頂部移動，通過金剛石切割刀304將石英錠進(jìn)行切割，形成石英圓片；

46.步驟二：將石英圓片放置于水切割機(jī)的平臺上面進(jìn)行內(nèi)外徑加工，形成石英圓環(huán)粗品，內(nèi)外徑余量為5mm,用于后續(xù)mc加工；

47.步驟三：將石英圓環(huán)粗品進(jìn)行平面研削加工，保證平面度以及平行度要求達(dá)0.02mm以內(nèi)，平面研削之后進(jìn)行mc加工，通過mc將其余所有特征尺寸加工出來，得到石英圓環(huán)半成品；

48.步驟四：將石英圓環(huán)半成品進(jìn)行脫脂洗凈，洗凈時(shí)間為0.5小時(shí)，主要用于去除產(chǎn)品表面的有機(jī)物；

49.步驟五：脫脂洗凈之后進(jìn)行純水超聲波清洗，洗凈時(shí)間控制0.5小時(shí)，目的是去除石英產(chǎn)品表面殘留的有機(jī)物、無機(jī)物和浮于產(chǎn)品表面的微粒；

50.步驟六：純水超聲波清洗后用質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2

?

10％的聚天冬氨酸水溶液洗凈，進(jìn)行脫金屬處理，通過聚天冬氨酸中的多羧基結(jié)構(gòu)能夠與金屬離子形成高分子金屬絡(luò)合物，從而有效去除產(chǎn)品表面的金屬元素；

51.步驟七：之后進(jìn)行最終檢查，檢查項(xiàng)目包含尺寸要求，表面粗糙度要求，產(chǎn)品平面度，垂直度、表面輪廓度；

52.步驟八：再次進(jìn)行脫脂洗凈，洗凈時(shí)間控制0.5小時(shí)，洗凈溫度控制在100℃，脫脂洗凈后去除有機(jī)物、金屬離子和顆粒；

53.步驟九：最后進(jìn)行烘干，烘干溫度為100℃，烘干時(shí)間為0.5小時(shí)以上，烘干之后進(jìn)行包裝，得到半導(dǎo)體級石英環(huán)。

54.實(shí)施例2：

55.請參閱圖1

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8所示，本實(shí)施例為晶錠切割設(shè)備，包括安裝架101、輸送機(jī)102、支撐架103、切割電機(jī)104、壓料氣缸105、滑道106、夾持機(jī)構(gòu)107，安裝架101的一端設(shè)置有輸送機(jī)102，安裝架101靠近輸送機(jī)102的一端頂部安裝有支撐架103，安裝架101的頂部遠(yuǎn)離支撐架103的一端兩側(cè)均安裝有滑道106，滑道106上滑動連接有夾持機(jī)構(gòu)107；

56.夾持機(jī)構(gòu)107包括滑動底座701、移動電機(jī)702、安裝桿703、安裝板704、夾持板705、拉伸氣缸706、固定板707、固定桿708、連接板709、翻轉(zhuǎn)板710、連接臂711、夾持氣缸712、傳動桿713、齒輪柱714、齒形板715，滑動底座701的頂部兩端均嵌入安裝有安裝桿703，安裝桿703的頂部兩端均安裝有安裝板704，兩個(gè)安裝板704頂部相互靠近的一側(cè)均豎直安裝有夾持板705，兩個(gè)安裝板704頂部相互遠(yuǎn)離的一側(cè)均豎直安裝有兩個(gè)拉伸氣缸706，兩個(gè)安裝桿703的中部之間安裝有連接板709，連接板709的頂部軸心處轉(zhuǎn)動安裝有翻轉(zhuǎn)板710，翻轉(zhuǎn)板710的兩端頂部均轉(zhuǎn)動安裝有連接臂711，兩個(gè)連接臂711的一端分別轉(zhuǎn)動連接至兩個(gè)安裝板704上，其中一個(gè)安裝板704的底部通過連接塊連接至夾持氣缸712的活動桿上，夾持氣缸712嵌入安裝在滑動底座701的頂部；

57.兩個(gè)安裝板704的正上方均設(shè)置有固定板707，固定板707安裝在拉伸氣缸706的活動桿上，其中一個(gè)安裝板704的一側(cè)上等距螺紋連接有若干個(gè)固定桿708，若干個(gè)固定桿708的一端活動貫穿另一個(gè)安裝板704；

58.滑動底座701的一側(cè)安裝有移動電機(jī)702，滑動底座701的底部中間設(shè)置有齒形板715，齒形板715安裝在安裝架101的頂部，滑動底座701的內(nèi)腔中轉(zhuǎn)動安裝有傳動桿713，傳動桿713的一端連接至移動電機(jī)702的輸出軸上，傳動桿713的中部套設(shè)有齒輪柱714，齒輪柱714與齒形板715嚙合連接；

59.支撐架103包括支撐橫板301、支撐立板302，支撐橫板301的兩端底部均安裝有支撐立板302，兩個(gè)支撐立板302分別安裝在安裝架101的頂部兩側(cè)，支撐橫板301的兩側(cè)下方分別設(shè)置有限位座303、金剛石切割刀304，限位座303的頂部兩端分別連接至兩個(gè)壓料氣缸105的活動桿上，限位座303的底部呈弧形槽狀，且弧形槽內(nèi)壁上等弧度安裝有若干個(gè)滾輪309，金剛石切割刀304的兩端均安裝有螺紋座305，螺紋座305位于支撐立板302的內(nèi)腔中，支撐立板302的內(nèi)壁上安裝有滑軌306，螺紋座305與滑軌306滑動連接，支撐立板302的內(nèi)腔中轉(zhuǎn)動安裝有螺紋桿307，螺紋桿307貫穿螺紋座305并與螺紋座305螺紋連接，兩個(gè)螺紋桿307的頂端貫穿支撐橫板301的兩端并連接至兩個(gè)切割電機(jī)104的輸出軸上；

60.兩個(gè)支撐立板302的底部之間安裝有落刀槽308和輸送輥310，落刀槽308位于金剛石切割刀304的正下方，輸送輥310位于限位座303的正下方，其中一個(gè)支撐立板302的一側(cè)底部安裝有輸送電機(jī)311，輸送電機(jī)311的輸出軸連接至輸送輥310的一端上。

61.請參閱圖1

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8所示，實(shí)施例中的晶錠切割設(shè)備的工作過程如下：

62.步驟一：將石英錠一端放置于輸送輥310上，啟動壓料氣缸105，壓料氣缸105的活動桿延伸帶動限位座303下降將石英錠夾持，將石英錠另一端放入夾持機(jī)構(gòu)107的內(nèi)腔中，石英錠位于安裝桿703的頂部，將固定桿708貫穿一個(gè)固定板707后螺紋連接在另一個(gè)固定板707上；

63.步驟二：啟動夾持氣缸712和拉伸氣缸706，夾持氣缸712的活動桿收縮，拉動其中一個(gè)安裝板704向連接板709靠近，通過翻轉(zhuǎn)板710、連接臂711帶動另一個(gè)安裝板704也向連接板709靠近，兩個(gè)安裝板704相互靠近的過程中將石英錠的兩側(cè)夾持，拉伸氣缸706的活動桿收縮帶動固定板707下降，從而帶動固定桿708下降將石英錠的上側(cè)夾持；

64.步驟三：啟動移動電機(jī)702，移動電機(jī)702運(yùn)轉(zhuǎn)帶動傳動桿713以及齒輪柱714轉(zhuǎn)動，由于齒輪柱714、齒形板715嚙合連接，從而帶動滑動底座701在滑道106滑動，啟動輸送電機(jī)311，輸送電機(jī)311運(yùn)轉(zhuǎn)帶動輸送輥310轉(zhuǎn)動，帶動石英錠向落刀槽308的頂部移動；

65.步驟四：啟動切割電機(jī)104，切割電機(jī)104運(yùn)轉(zhuǎn)帶動螺紋桿307轉(zhuǎn)動，由于螺紋桿307、螺紋座305之間螺紋連接，從而帶動螺紋座305在滑軌306上移動，進(jìn)而帶動金剛石切割刀304下降將石英錠進(jìn)行切割，形成石英圓片；

66.步驟五：石英圓片落至輸送機(jī)102上輸送至下一工序。

67.在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個(gè)實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。

68.以上內(nèi)容僅僅是對本發(fā)明所作的舉例和說明，所屬本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員對所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類似的方式替代，只要不偏離發(fā)明或者超越本權(quán)利要求書所定義的范圍，均應(yīng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝，其特征在于，包括以下步驟：步驟一：將石英錠一端放置于晶錠切割設(shè)備的輸送輥(310)上，通過限位座(303)夾持，將石英錠另一端放入夾持機(jī)構(gòu)(107)的內(nèi)腔中，通過夾持機(jī)構(gòu)(107)夾持，通過移動電機(jī)(702)和輸送電機(jī)(311)帶動石英錠向落刀槽(308)的頂部移動，通過金剛石切割刀(304)將石英錠進(jìn)行切割，形成石英圓片；步驟二：將石英圓片放置于水切割機(jī)的平臺上面進(jìn)行內(nèi)外徑加工，形成石英圓環(huán)粗品；步驟三：將石英圓環(huán)粗品進(jìn)行平面研削加工，平面研削之后進(jìn)行mc加工，得到石英圓環(huán)半成品；步驟四：將石英圓環(huán)半成品進(jìn)行脫脂洗凈，洗凈時(shí)間為0.5小時(shí)；步驟五：脫脂洗凈之后進(jìn)行純水超聲波清洗，洗凈時(shí)間控制0.5小時(shí)；步驟六：純水超聲波清洗后進(jìn)行脫金屬處理；步驟七：之后進(jìn)行最終檢查，檢查項(xiàng)目包含尺寸要求，表面粗糙度要求，產(chǎn)品平面度，垂直度、表面輪廓度；步驟八：再次進(jìn)行脫脂洗凈，洗凈時(shí)間控制0.5小時(shí)，洗凈溫度控制在100℃；步驟九：最后進(jìn)行烘干，烘干溫度為100℃，烘干時(shí)間為0.5小時(shí)以上，烘干之后進(jìn)行包裝，得到半導(dǎo)體級石英環(huán)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝，其特征在于，所述晶錠切割設(shè)備包括安裝架(101)、輸送機(jī)(102)、支撐架(103)、切割電機(jī)(104)、壓料氣缸(105)、滑道(106)、夾持機(jī)構(gòu)(107)，所述安裝架(101)的一端設(shè)置有輸送機(jī)(102)，所述安裝架(101)靠近輸送機(jī)(102)的一端頂部安裝有支撐架(103)，所述安裝架(101)的頂部遠(yuǎn)離支撐架(103)的一端兩側(cè)均安裝有滑道(106)，所述滑道(106)上滑動連接有夾持機(jī)構(gòu)(107)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝，其特征在于，所述夾持機(jī)構(gòu)(107)包括滑動底座(701)、移動電機(jī)(702)、安裝桿(703)、安裝板(704)、夾持板(705)、拉伸氣缸(706)、固定板(707)、固定桿(708)、連接板(709)、翻轉(zhuǎn)板(710)、連接臂(711)、夾持氣缸(712)、傳動桿(713)、齒輪柱(714)、齒形板(715)，所述滑動底座(701)的頂部兩端均嵌入安裝有安裝桿(703)，所述安裝桿(703)的頂部兩端均安裝有安裝板(704)，兩個(gè)所述安裝板(704)頂部相互靠近的一側(cè)均豎直安裝有夾持板(705)，兩個(gè)所述安裝板(704)頂部相互遠(yuǎn)離的一側(cè)均豎直安裝有兩個(gè)拉伸氣缸(706)，兩個(gè)所述安裝桿(703)的中部之間安裝有連接板(709)，所述連接板(709)的頂部軸心處轉(zhuǎn)動安裝有翻轉(zhuǎn)板(710)，所述翻轉(zhuǎn)板(710)的兩端頂部均轉(zhuǎn)動安裝有連接臂(711)，兩個(gè)所述連接臂(711)的一端分別轉(zhuǎn)動連接至兩個(gè)安裝板(704)上，其中一個(gè)所述安裝板(704)的底部通過連接塊連接至夾持氣缸(712)的活動桿上，所述夾持氣缸(712)嵌入安裝在滑動底座(701)的頂部。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝，其特征在于，兩個(gè)所述安裝板(704)的正上方均設(shè)置有固定板(707)，所述固定板(707)安裝在拉伸氣缸(706)的活動桿上，其中一個(gè)安裝板(704)的一側(cè)上等距螺紋連接有若干個(gè)固定桿(708)，若干個(gè)所述固定桿(708)的一端活動貫穿另一個(gè)安裝板(704)。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝，其特征在于，所述滑動底座(701)的一側(cè)安裝有移動電機(jī)(702)，所述滑動底座(701)的底部中間設(shè)置有齒形板(715)，所述齒形板(715)安裝在安裝架(101)的頂部，所述滑動底座(701)的內(nèi)腔中轉(zhuǎn)動安裝有傳

動桿(713)，所述傳動桿(713)的一端連接至移動電機(jī)(702)的輸出軸上，所述傳動桿(713)的中部套設(shè)有齒輪柱(714)，所述齒輪柱(714)與齒形板(715)嚙合連接。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝，其特征在于，所述支撐架(103)包括支撐橫板(301)、支撐立板(302)，所述支撐橫板(301)的兩端底部均安裝有支撐立板(302)，兩個(gè)所述支撐立板(302)分別安裝在安裝架(101)的頂部兩側(cè)，所述支撐橫板(301)的兩側(cè)下方分別設(shè)置有限位座(303)、金剛石切割刀(304)，所述限位座(303)的頂部兩端分別連接至兩個(gè)壓料氣缸(105)的活動桿上，所述限位座(303)的底部呈弧形槽狀，且弧形槽內(nèi)壁上等弧度安裝有若干個(gè)滾輪(309)，所述金剛石切割刀(304)的兩端均安裝有螺紋座(305)，所述螺紋座(305)位于支撐立板(302)的內(nèi)腔中，所述支撐立板(302)的內(nèi)壁上安裝有滑軌(306)，所述螺紋座(305)與滑軌(306)滑動連接，所述支撐立板(302)的內(nèi)腔中轉(zhuǎn)動安裝有螺紋桿(307)，所述螺紋桿(307)貫穿螺紋座(305)并與螺紋座(305)螺紋連接，兩個(gè)所述螺紋桿(307)的頂端貫穿支撐橫板(301)的兩端并連接至兩個(gè)切割電機(jī)(104)的輸出軸上。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝，其特征在于，兩個(gè)所述支撐立板(302)的底部之間安裝有落刀槽(308)和輸送輥(310)，所述落刀槽(308)位于金剛石切割刀(304)的正下方，所述輸送輥(310)位于限位座(303)的正下方，其中一個(gè)所述支撐立板(302)的一側(cè)底部安裝有輸送電機(jī)(311)，所述輸送電機(jī)(311)的輸出軸連接至輸送輥(310)的一端上。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝，其特征在于，所述晶錠切割設(shè)備的工作過程如下：步驟一：將石英錠一端放置于輸送輥(310)上，啟動壓料氣缸(105)，壓料氣缸(105)的活動桿延伸帶動限位座(303)下降將石英錠夾持，將石英錠另一端放入夾持機(jī)構(gòu)(107)的內(nèi)腔中，石英錠位于安裝桿(703)的頂部，將固定桿(708)貫穿一個(gè)固定板(707)后螺紋連接在另一個(gè)固定板(707)上；步驟二：啟動夾持氣缸(712)和拉伸氣缸(706)，夾持氣缸(712)的活動桿收縮，拉動其中一個(gè)安裝板(704)向連接板(709)靠近，通過翻轉(zhuǎn)板(710)、連接臂(711)帶動另一個(gè)安裝板(704)也向連接板(709)靠近，兩個(gè)安裝板(704)相互靠近的過程中將石英錠的兩側(cè)夾持，拉伸氣缸(706)的活動桿收縮帶動固定板(707)下降，從而帶動固定桿(708)下降將石英錠的上側(cè)夾持；步驟三：啟動移動電機(jī)(702)，移動電機(jī)(702)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動傳動桿(713)以及齒輪柱(714)轉(zhuǎn)動，由于齒輪柱(714)、齒形板(715)嚙合連接，從而帶動滑動底座(701)在滑道(106)滑動，啟動輸送電機(jī)(311)，輸送電機(jī)(311)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動輸送輥(310)轉(zhuǎn)動，帶動石英錠向落刀槽(308)的頂部移動；步驟四：啟動切割電機(jī)(104)，切割電機(jī)(104)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動螺紋桿(307)轉(zhuǎn)動，由于螺紋桿(307)、螺紋座(305)之間螺紋連接，從而帶動螺紋座(305)在滑軌(306)上移動，進(jìn)而帶動金剛石切割刀(304)下降將石英錠進(jìn)行切割，形成石英圓片；步驟五：石英圓片落至輸送機(jī)(102)上輸送至下一工序。

技術(shù)總結(jié)

本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝，涉及半導(dǎo)體高純石英加工環(huán)領(lǐng)域，該生產(chǎn)工藝中使用的石英材料是高純石英母材，通過晶錠切割、水切割、平面研磨、MC加工、脫脂洗凈、化學(xué)洗凈、包裝，最終得到半導(dǎo)體級石英環(huán)，該生產(chǎn)工藝的優(yōu)點(diǎn)是工藝路線簡單，石英加工制品尺寸精度高，表面洗凈潔凈度高，可批量制造，能夠滿足目前半導(dǎo)體行業(yè)需求；該生產(chǎn)工藝中通過使用晶錠切割設(shè)備對石英錠進(jìn)行晶錠切割，該晶錠切割設(shè)備通過限位座、夾持機(jī)構(gòu)將石英錠夾持，夾持穩(wěn)定性高，避免了石英錠在切割時(shí)晃動導(dǎo)致切割不夠平整，保證了晶錠切割的精確度，也降低了石英錠原料的損耗，自動化程度高，使用便捷。使用便捷。使用便捷。

技術(shù)研發(fā)人員：楊軍 房玉林 鄒琴

受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇富樂德石英科技有限公司

技術(shù)研發(fā)日：2021.05.24

技術(shù)公布日：2021/9/9