一種無污水和固體廢物排放的晶體硅加工廢砂漿綜合處理技術(shù),在回收廢砂漿切割液PEG之前,首先磁選回收廢砂漿中的Fe粉,干燥后作為
粉末冶金的原料;除鐵后的三元廢砂漿壓濾,得到含SiC、Si的為主的濾餅和含切割液PEG為主的濾液;濾液經(jīng)過精制處理得到合格的切割液PEG;濾餅在干燥脫水后,利用其中殘余的3~~5的PEG壓制成陶瓷毛坯,在氮化爐中氮化燒結(jié)成氮化硅結(jié)合碳化硅陶瓷材料;濾餅干燥后的含SiC、Si的二元砂通過碳化或氮化處理,使其中的Si粉轉(zhuǎn)化成納米SiC或納米Si3N4;洗滌分離SiC、Si的二元砂反應(yīng)產(chǎn)物,分別得到微米級SiC和納米SiC或納米Si3N4;整個(gè)生產(chǎn)過程無工藝廢水和固體廢棄物排放。
聲明:
“無污水和固體廢物排放的晶體硅加工廢砂漿綜合處理技術(shù)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)