本發(fā)明公開了一種透射式全穆勒矩陣光譜橢偏儀及其測量方法,方法是將起偏臂產(chǎn)生的調(diào)制光線投射到待測樣件表面,檢偏臂將待測樣件反射(或透射)的光線解調(diào)并接收,通過對測量光譜進(jìn)行諧波分析,計(jì)算獲得待測樣件的全穆勒矩陣信息,并通過非線性回歸,庫匹配等算法擬合提取待測樣件的光學(xué)常數(shù),特征形貌尺寸等信息。橢偏儀包括起偏臂(包括光源,透鏡組,起偏器和伺服電機(jī)驅(qū)動的補(bǔ)償器),待測樣件和檢偏臂(包括伺服電機(jī)驅(qū)動的補(bǔ)償器,檢偏器,透鏡組和光譜儀)。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)各種信息光電子
功能材料和器件,以及納米制造中各種納米結(jié)構(gòu)的在線測量,具有非破壞性,快速和低成本的特點(diǎn)。
聲明:
“透射式全穆勒矩陣光譜橢偏儀及其測量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)