国产在线一区二区不卡|在线观看中文字幕一区|亚洲中文无码h在线观看|欧美 亚洲 图色 另类|免费人成视频x8x8入口|国产福利观看天堂素人约啪|人妻无码专区一专区二专区三|国产婷婷成人久久AV免费高清

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 功能材料技術(shù)

> 集成標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝的電阻存儲(chǔ)器及其制備方法

集成標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝的電阻存儲(chǔ)器及其制備方法

756   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:09:02
本發(fā)明涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種集成標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝的電阻存儲(chǔ)器及其制備方法,該方法包括:在常規(guī)CMOS工藝完成前段工藝至鎢栓塞形成后,沉積金屬層間介質(zhì)層;之后將存儲(chǔ)陣列部分鎢栓塞上方的介質(zhì)層打開,形成與鎢栓塞部分錯(cuò)開的孔洞,露出一部分鎢栓塞;隨后生長(zhǎng)金屬氧化物功能材料、電極材料、擴(kuò)散阻擋層、仔晶銅以及電鍍銅,最后用化學(xué)機(jī)械拋光形成存儲(chǔ)單元。本發(fā)明方法可以實(shí)現(xiàn)突破常規(guī)光刻工藝的器件尺寸,且有助于固定電阻存儲(chǔ)器導(dǎo)電細(xì)絲的形成位置,增強(qiáng)器件的均一性。
聲明:
“集成標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝的電阻存儲(chǔ)器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
功能材料
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)
了解更多信息請(qǐng)您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記