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體聲波諧振結構及其制備方法、聲波器件

1112   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網  
2023-03-18 15:10:02
本公開實施例提供一種體聲波諧振結構，包括：襯底；依次位于所述襯底上的反射結構、第一電極、壓電層和第二電極；其中，所述第一電極在所述襯底的正投影與所述反射結構在所述襯底的正投影的重疊區(qū)域為第一重疊區(qū)；第一凸起結構，位于所述壓電層或所述第二電極相對遠離所述襯底的一側；其中，所述第一凸起結構在所述襯底的正投影與所述第一重疊區(qū)至少部分重疊；第二凸起結構，至少部分位于所述第二電極相對遠離所述襯底的一側；其中，所述第二凸起結構在所述襯底的正投影與所述第一凸起結構在所述襯底的正投影至少部分重疊；修頻層，覆蓋所述第二電極、所述壓電層、所述第一凸起結構和所述第二凸起結構相對遠離所述襯底的表面。
聲明：
“體聲波諧振結構及其制備方法、聲波器件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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