本發(fā)明涉及一種具有高耐壓自限流性能的阻變型選通器及其制備方法,所述的阻變型選通器,結(jié)構(gòu)包括從底部至頂部依次設(shè)置的襯底、底電極薄膜、功能層薄膜和頂電極薄膜,且所述底電極薄膜的面積大于所述功能層薄膜的面積;每層材料薄膜層之間沒有其他材料,相鄰薄膜層之間通過一定程度的相互擴散形成多級次功能層,使所述阻變型選通器在高電壓下仍保持低電流值,可有效抑制阻變器件集成陣列中的串擾電流;改善功能層薄膜在真空狀態(tài)下沉積得到的成分偏析問題,使高電阻狀態(tài)更穩(wěn)定。使底電極薄膜與功能層薄膜之間形成一種特殊的材料界面效應,在大電壓下將通過該選通器的電流穩(wěn)定在一個極低的固定值,形成自限流效應,省略外加鉗位電流。
聲明:
“具有高耐壓自限流性能的阻變型選通器及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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