本發(fā)明公開(kāi)了一種壓電
復(fù)合材料制備方法,其包括一下步驟:步驟一、用精密切割機(jī)在壓電材料上切割出刻蝕導(dǎo)槽;步驟二、將切割后的壓電材料放入刻蝕腔或者刻蝕液內(nèi)進(jìn)行刻蝕,控制刻蝕的速度和時(shí)間,當(dāng)刻蝕的深度和寬度達(dá)到壓電復(fù)合材料的設(shè)計(jì)要求后,停止刻蝕,制得壓電晶柱;步驟三、清洗、烘干經(jīng)過(guò)刻蝕的壓電材料;步驟四、在壓電材料的刻蝕導(dǎo)槽內(nèi)進(jìn)行非壓電相的填充和固化成形,得到壓電復(fù)合材料半成品;步驟五、減薄拋光后得到壓電復(fù)合材料。其優(yōu)點(diǎn)在于:方法簡(jiǎn)單,操作方便,不但克服切割?填充法對(duì)高頻壓電復(fù)合材料制備的限制,又而且減弱等離子反應(yīng)刻蝕工藝造成的壓電材料各向異性傾角。
聲明:
“壓電復(fù)合材料制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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