公開了一種平面鋰靶材組件的制造方法和設(shè)備。平面鋰靶材組件的制造方法包括:提供鋰靶坯和背板,所述鋰靶坯具有第一主表面和與第一主表面相反的第一背面,所述背板具有第二主表面和與第二主表面相反的第二背面;將所述鋰靶坯的第一主表面與所述背板的第二主表面相對設(shè)置并貼合,形成初始組件;在真空環(huán)境中,使用施壓塊對所述鋰靶坯的第一背面施加壓力,同時加熱所述初始組件,使所述鋰靶坯與所述背板在貼合表面處發(fā)生擴(kuò)散焊接,形成平面鋰靶材組件。本發(fā)明技術(shù)方案解決了平面鋰靶材生產(chǎn)中靶材質(zhì)量不佳的問題,所制造的靶材組件具有高抗拉強(qiáng)度,還可以解決金屬鋰柔軟和黏性所導(dǎo)致的生產(chǎn)問題,使靶材組件的生產(chǎn)簡潔易行,且基本無原材料浪費。
聲明:
“平面鋰靶材組件的制造方法和設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)