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用于光纖陀螺的集成光學調(diào)制器電極結構及制作方法

709   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 00:23:44
本發(fā)明公開了一種用于光纖陀螺的集成光學調(diào)制器電極結構及制作方法，在鈮酸鋰襯底上制作波導區(qū)域以及集成光學調(diào)制器芯片上的調(diào)制電極，調(diào)制電極為推挽式結構，包括兩側的信號電極與中心的地電極，信號電極與地電極均為平行于波導區(qū)域的長條狀，波導區(qū)域為Y型分支，位于襯底表面之下，調(diào)制電極對稱分布于波導區(qū)域兩側，位于襯底表面之下，均勻蒸鍍并電鍍于沉降式凹槽的三個表面。本發(fā)明根據(jù)電場與光場之間的分布特性，優(yōu)化傳統(tǒng)電極設計模式，采用沉降式的電極替代傳統(tǒng)平面電極，使得調(diào)制器電光作用區(qū)域的電場分布更為均一，有效抑制了由于電場分布偏差引入的調(diào)制誤差，為高精度光纖陀螺的研制提供了有效可行方案。
聲明：
“用于光纖陀螺的集成光學調(diào)制器電極結構及制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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