本實用新型提供一種外加式流量量測裝置、混合設備及清洗機,所述外加式流量量測裝置包括量測桶,以及第一閥組和第二三通分流閥;所述混合設備包括一個混液槽、至少兩個輸送泵,以及與輸送泵的入口、出口連通的上述外加式流量量測裝置。還提供一種清洗機,包括至少一個主機臺,以及上述的混合設備,所述混合設備將混合液輸送至主機臺的生產腔室內。通過設置多組三通閥和開關閥將輸送泵中的出液量導入量測桶中,能夠避免化學品輸送拆管量測接觸到化學品,提高人員安全、降低成本和提高品質良率;因增加水路在輸送泵前,在更換輸送泵時可以對輸送泵進行清洗,提高更換人員安全。
聲明:
“外加式流量量測裝置、混合設備及清洗機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)