本發(fā)明有關(guān)于一種真空鍍膜設(shè)備的真空度量測(cè)裝置,包含有一真空計(jì)及一開(kāi)關(guān)閥,開(kāi)關(guān)閥安裝于真空鍍膜設(shè)備的一真空腔體且與真空計(jì)連接在一起,當(dāng)開(kāi)關(guān)閥開(kāi)啟時(shí),真空腔體與真空計(jì)之間相互連通,使真空計(jì)能藉由量測(cè)氣體的物理性質(zhì)而換算出真空腔體內(nèi)的真空度,當(dāng)開(kāi)關(guān)閥關(guān)閉時(shí),真空腔體內(nèi)與真空計(jì)之間互不相通,使真空計(jì)能夠減少接觸到化學(xué)腐蝕氣體的機(jī)會(huì),以達(dá)到延長(zhǎng)維修周期及使用壽命的目的,同時(shí)便于維修操作。
聲明:
“真空鍍膜設(shè)備的真空度量測(cè)裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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