本發(fā)明提供一種電力供給恢復(fù)時能短時間無損傷地再啟動的氣體激光系統(tǒng)。該氣體激光系統(tǒng)具備:激光振蕩器,其包含在由于來自電源部的供給電力的下降而停止了動作后,在正常地開始動作之前需要預(yù)定的待機(jī)時間的設(shè)備;控制裝置,其控制激光振蕩器;電力下降檢測部;以及非易失性存儲部,其存儲通過電力下降檢測部檢測出供給電力下降的第一時刻的時刻數(shù)據(jù)??刂蒲b置根據(jù)從通過非易失性存儲部中存儲的時刻數(shù)據(jù)而得到的第一時刻到輸出下一次的系統(tǒng)啟動指令的第二時刻的時間,計算設(shè)備的動作停止時間,當(dāng)該動作停止時間超過預(yù)定的待機(jī)時間時,允許設(shè)備的動作重新開始,在動作停止時間在預(yù)定的待機(jī)時間以內(nèi)時,禁止設(shè)備的動作重新開始。
聲明:
“電力供給恢復(fù)時能短時間無損傷地再啟動的氣體激光系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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