1.本實(shí)用新型涉及硅片分選技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置。

背景技術(shù)：

2.在硅片分選機(jī)的生產(chǎn)線中，生產(chǎn)硅片需要先將硅棒切割成硅片，然后對(duì)硅片清洗，清洗完成后需要對(duì)硅片進(jìn)行多項(xiàng)檢測(cè)，例如包括表面臟污、厚度、隱裂、電阻率等性能的檢測(cè)，檢測(cè)完成后需要清除清洗時(shí)產(chǎn)生的硅片表面碎片。

3.現(xiàn)有技術(shù)中的吹片裝置通常用于清洗時(shí)從硅片側(cè)面吹片，而這種技術(shù)方案不適用于輸送過(guò)程中吹走硅片表面碎片。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

4.針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的是提供一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的一個(gè)或多個(gè)問(wèn)題。

5.為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

6.一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置，包括硅片、底座以及用于輸送所述硅片的輸送線，所述輸送線設(shè)置在所述底座上，所述輸送線包括第一輸送組和第二輸送組，所述第一輸送組遠(yuǎn)端和第二輸送組近端具有間隔，所述底座對(duì)應(yīng)間隔處開設(shè)第一孔，所述第一孔下方設(shè)置盒體，所述第一輸送組包括第一平臺(tái)，所述第一平臺(tái)兩側(cè)設(shè)置支架，所述支架上設(shè)置吹風(fēng)裝置，所述吹風(fēng)裝置的出風(fēng)口對(duì)準(zhǔn)所述間隔處，所述硅片輸送到間隔處時(shí)吹風(fēng)裝置吹風(fēng)將硅片表面碎片吹落至盒體。

7.進(jìn)一步的，所述吹風(fēng)裝置為風(fēng)刀，所述吹風(fēng)裝置還包括氣泵，所述氣泵通過(guò)氣管與所述風(fēng)刀連接。

8.進(jìn)一步的，所述風(fēng)刀底部開設(shè)至少一條出風(fēng)口，所述出風(fēng)口的風(fēng)向與所述硅片表面垂直。

9.進(jìn)一步的，所述風(fēng)刀設(shè)置于所述輸送裝置中線處。

10.進(jìn)一步的，所述第一平臺(tái)遠(yuǎn)端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第一被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，所述第一平臺(tái)近端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第一主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，所述第一主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件與第一被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件通過(guò)第一傳送帶傳動(dòng)。

11.進(jìn)一步的，所述第一被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包括兩個(gè)第一被動(dòng)帶輪，所述第一主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包括設(shè)置在第一平臺(tái)內(nèi)的第一電機(jī)以及兩個(gè)第一主動(dòng)帶輪，所述第一主動(dòng)帶輪通過(guò)聯(lián)軸器連接第一電機(jī)的輸出端。

12.進(jìn)一步的，所述第二輸送組包括第二平臺(tái)，所述第二平臺(tái)近端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第二被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，所述第二平臺(tái)遠(yuǎn)端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第二主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，所述第二主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件與第二被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件通過(guò)第二傳送帶傳動(dòng)。

13.進(jìn)一步的，所述第二被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包括兩個(gè)第二被動(dòng)帶輪，所述第二主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包

括設(shè)置在第二平臺(tái)內(nèi)的第二電機(jī)以及兩個(gè)第二主動(dòng)帶輪，所述第二主動(dòng)帶輪通過(guò)聯(lián)軸器連接第二電機(jī)的輸出端。

14.進(jìn)一步的，所述底座與盒體之間還設(shè)置收集斗，所述收集斗上端連通第一孔，所述收集斗下端開設(shè)第二孔對(duì)準(zhǔn)所述盒體。

15.進(jìn)一步的，所述第一孔長(zhǎng)度大于所述第一輸送組和第二輸送組之間的間隔，所述第一孔寬度大于第一輸送組和第二輸送組的寬度。

16.與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益技術(shù)效果如下：

17.(一)本實(shí)用新型中，第一輸送組包括第一平臺(tái)，在第一平臺(tái)兩側(cè)設(shè)置支架，所述支架上設(shè)置風(fēng)刀，所述風(fēng)刀的出風(fēng)口對(duì)準(zhǔn)第一輸送組與第二輸送組間隔處，所述硅片輸送到間隔處時(shí)風(fēng)刀吹風(fēng)將硅片表面碎片吹落至盒體，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，碎片吹落效率高，提高了分選機(jī)分選精度。

18.(二)進(jìn)一步的，風(fēng)刀出風(fēng)口吹出風(fēng)向垂直于硅片表面，且出風(fēng)口位于輸送裝置中線處，保證碎片朝硅片兩側(cè)掉落，提高碎片收集效率。

19.(三)進(jìn)一步的，所述底座與盒體之間還設(shè)置收集斗，所述收集斗為漏斗狀，避免碎片掉落到地上，提高碎片收集效率。

附圖說(shuō)明

20.圖1示出了本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置的正視結(jié)構(gòu)示意圖。

21.圖2示出了本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

22.附圖中標(biāo)記：

23.1、第一輸送組；11、第一平臺(tái)；111、第一電機(jī)；112、第一主動(dòng)帶輪；113、第一被動(dòng)帶輪；114、第一傳送帶；12、支架；2、第二輸送組；21、第二平臺(tái)；211、第二電機(jī)；212、第二主動(dòng)帶輪；213、第二被動(dòng)帶輪；214、第二傳送帶；3、底座；31、第一孔；4、收集斗；41、第二孔；5、盒體；6、吹風(fēng)裝置；61、風(fēng)刀；611、出風(fēng)口；7、氣泵；71、氣管。

具體實(shí)施方式

24.為了使本實(shí)用新型的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，請(qǐng)參閱附圖。須知，本說(shuō)明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說(shuō)明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容能涵蓋的范圍內(nèi)。

25.在本實(shí)用新型的描述中，限定術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“長(zhǎng)度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。

26.為了更加清楚地描述上述一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置的結(jié)構(gòu)，本實(shí)用

新型限定術(shù)語(yǔ)“遠(yuǎn)端”和“近端”，具體而言，“遠(yuǎn)端”表示遠(yuǎn)離硅片來(lái)料的一端，“近端”表示靠近硅片來(lái)料的一端，以圖1為例，圖1中第二輸送組2的左側(cè)為近端，圖1中第二輸送組2的右側(cè)為遠(yuǎn)端。

27.實(shí)施例一

28.請(qǐng)參考圖1，一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置，包括硅片、底座3以及用于輸送所述硅片的輸送線，所述輸送線設(shè)置在所述底座3上，所述輸送線包括第一輸送組1和第二輸送組2，所述第一輸送組1遠(yuǎn)端和第二輸送組2近端具有間隔，所述底座3對(duì)應(yīng)間隔處開設(shè)第一孔31，所述第一孔31下方設(shè)置盒體5，所述第一輸送組1包括第一平臺(tái)11，所述第一平臺(tái)11兩側(cè)設(shè)置支架12，所述支架12上設(shè)置吹風(fēng)裝置6，所述吹風(fēng)裝置6的出風(fēng)口611對(duì)準(zhǔn)所述間隔處，所述硅片輸送到間隔處時(shí)吹風(fēng)裝置6吹風(fēng)將硅片表面碎片吹落至盒體5。

29.下面描述所述吹風(fēng)裝置6的具體結(jié)構(gòu)如下：

30.請(qǐng)參考圖1和圖2，進(jìn)一步的，所述吹風(fēng)裝置6為風(fēng)刀61，所述風(fēng)刀61近端連接支架12，所述吹風(fēng)裝置6還包括氣泵7，氣泵7放置在地面即可，所述氣泵7通過(guò)氣管71與所述風(fēng)刀61連接。

31.請(qǐng)參考圖2，進(jìn)一步的，所述風(fēng)刀61底部開設(shè)一條出風(fēng)口611，所述出風(fēng)口611的風(fēng)向與所述硅片表面垂直。請(qǐng)參考圖2，進(jìn)一步的，所述風(fēng)刀61設(shè)置于所述輸送裝置中線處，使出風(fēng)口611的風(fēng)剛好吹在硅片的中間，使碎片向硅片兩側(cè)吹飛。

32.下面描述所述第一輸送組1和第二輸送組2的具體結(jié)構(gòu)如下：

33.請(qǐng)參考圖1和圖2，進(jìn)一步的，所述第一平臺(tái)11遠(yuǎn)端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第一被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，所述第一平臺(tái)11近端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第一主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，所述第一主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件與第一被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件通過(guò)第一傳送帶114傳動(dòng)。

34.請(qǐng)參考圖1和圖2，進(jìn)一步的，所述第一被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包括兩個(gè)第一被動(dòng)帶輪113，所述第一被動(dòng)帶輪113通過(guò)第一轉(zhuǎn)軸連接，所述第一主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包括設(shè)置在第一平臺(tái)11內(nèi)的第一電機(jī)111以及兩個(gè)第一主動(dòng)帶輪112，所述第一主動(dòng)帶輪112通過(guò)聯(lián)軸器連接第一電機(jī)111的輸出端。

35.請(qǐng)參考圖1和圖2，進(jìn)一步的，所述第二輸送組2包括第二平臺(tái)21，所述第二平臺(tái)21近端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第二被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，所述第二平臺(tái)21遠(yuǎn)端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第二主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，所述第二主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件與第二被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件通過(guò)第二傳送帶214傳動(dòng)。

36.請(qǐng)參考圖1和圖2，進(jìn)一步的，所述第二被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包括兩個(gè)第二被動(dòng)帶輪213，所述第二被動(dòng)帶輪213通過(guò)第二轉(zhuǎn)軸連接，所述第二主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包括設(shè)置在第二平臺(tái)21內(nèi)的第二電機(jī)211以及兩個(gè)第二主動(dòng)帶輪212，所述第二主動(dòng)帶輪212通過(guò)聯(lián)軸器連接第二電機(jī)211的輸出端。

37.請(qǐng)參考圖1和圖2，進(jìn)一步的，所述底座3與盒體5之間還設(shè)置收集斗4，所述收集斗4為漏斗狀，所述收集斗4上端開口與第一孔31大小相同，所述收集斗4下端開設(shè)第二孔41對(duì)準(zhǔn)所述盒體5，所述盒體5頂端開口大于第二孔41，使碎片能夠從收集斗4落入盒體5中。

38.請(qǐng)參考圖1，進(jìn)一步的，所述第一孔31長(zhǎng)度大于所述第一輸送組1和第二輸送組2之間的間隔，所述第一孔31寬度大于第一輸送組1和第二輸送組2的寬度，使碎片能夠從硅片表面吹落入第一孔31中。進(jìn)一步的，所述第一輸送組1和第二輸送組2之間的間隔遠(yuǎn)小于所述硅片的尺寸，因此吹片時(shí)硅片不會(huì)從間隔中掉落。

39.本實(shí)用新型的具體工作流程如下：

40.第一電機(jī)111帶動(dòng)第一主動(dòng)帶輪112轉(zhuǎn)動(dòng)，第一主動(dòng)帶輪112通過(guò)第一傳送帶114帶動(dòng)第一被動(dòng)帶輪113轉(zhuǎn)動(dòng)，硅片通過(guò)第一傳送帶114來(lái)到吹風(fēng)裝置6下方。風(fēng)刀61的出風(fēng)口611對(duì)準(zhǔn)硅片中間吹氣，將硅片上碎片吹至兩側(cè)并掉落，碎片通過(guò)底座3的第一孔31進(jìn)入收集斗4中，再通過(guò)收集斗4底部的第二孔41進(jìn)入盒體5。

41.第二電機(jī)211帶動(dòng)第二主動(dòng)帶輪212轉(zhuǎn)動(dòng)，第二主動(dòng)帶輪212通過(guò)第二傳送帶214帶動(dòng)第二被動(dòng)帶輪213轉(zhuǎn)動(dòng)，硅片通過(guò)第二傳送帶214離開。

42.以上所述實(shí)施例的各技術(shù)特征可以進(jìn)行任意的組合，為使描述簡(jiǎn)潔，未對(duì)上述實(shí)施例中的各個(gè)技術(shù)特征所有可能的組合都進(jìn)行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾，都應(yīng)當(dāng)認(rèn)為是本說(shuō)明書記載的范圍。

43.以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。技術(shù)特征：

1.一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置，包括硅片、底座以及用于輸送所述硅片的輸送線，所述輸送線設(shè)置在所述底座上，其特征在于：所述輸送線包括第一輸送組和第二輸送組，所述第一輸送組遠(yuǎn)端和第二輸送組近端具有間隔，所述底座對(duì)應(yīng)間隔處開設(shè)第一孔，所述第一孔下方設(shè)置盒體，所述第一輸送組包括第一平臺(tái)，所述第一平臺(tái)兩側(cè)設(shè)置支架，所述支架上設(shè)置吹風(fēng)裝置，所述吹風(fēng)裝置的出風(fēng)口對(duì)準(zhǔn)所述間隔處，所述硅片輸送到間隔處時(shí)吹風(fēng)裝置吹風(fēng)將硅片表面碎片吹落至盒體。2.如權(quán)利要求1所述的一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置，其特征在于：所述吹風(fēng)裝置為風(fēng)刀，所述吹風(fēng)裝置還包括氣泵，所述氣泵通過(guò)氣管與所述風(fēng)刀連接。3.如權(quán)利要求2所述的一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置，其特征在于：所述風(fēng)刀底部開設(shè)至少一條出風(fēng)口，所述出風(fēng)口的風(fēng)向與所述硅片表面垂直。4.如權(quán)利要求2所述的一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置，其特征在于：所述風(fēng)刀設(shè)置于所述輸送裝置中線處。5.如權(quán)利要求1所述的一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置，其特征在于：所述第一平臺(tái)遠(yuǎn)端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第一被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，所述第一平臺(tái)近端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第一主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，所述第一主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件與第一被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件通過(guò)第一傳送帶傳動(dòng)。6.如權(quán)利要求5所述的一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置，其特征在于：所述第一被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包括兩個(gè)第一被動(dòng)帶輪，所述第一主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包括設(shè)置在第一平臺(tái)內(nèi)的第一電機(jī)以及兩個(gè)第一主動(dòng)帶輪，所述第一主動(dòng)帶輪通過(guò)聯(lián)軸器連接第一電機(jī)的輸出端。7.如權(quán)利要求1所述的一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置，其特征在于：所述第二輸送組包括第二平臺(tái)，所述第二平臺(tái)近端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第二被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，所述第二平臺(tái)遠(yuǎn)端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第二主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，所述第二主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件與第二被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件通過(guò)第二傳送帶傳動(dòng)。8.如權(quán)利要求7所述的一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置，其特征在于：所述第二被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包括兩個(gè)第二被動(dòng)帶輪，所述第二主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包括設(shè)置在第二平臺(tái)內(nèi)的第二電機(jī)以及兩個(gè)第二主動(dòng)帶輪，所述第二主動(dòng)帶輪通過(guò)聯(lián)軸器連接第二電機(jī)的輸出端。9.如權(quán)利要求1所述的一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置，其特征在于：所述底座與盒體之間還設(shè)置收集斗，所述收集斗上端連通第一孔，所述收集斗下端開設(shè)第二孔對(duì)準(zhǔn)所述盒體。10.如權(quán)利要求1所述的一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置，其特征在于：所述第一孔長(zhǎng)度大于所述第一輸送組和第二輸送組之間的間隔，所述第一孔寬度大于第一輸送組和第二輸送組的寬度。

技術(shù)總結(jié)

本實(shí)用新型涉及一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置，包括硅片、底座以及用于輸送所述硅片的輸送線，所述輸送線設(shè)置在所述底座上，所述輸送線包括第一輸送組和第二輸送組，所述第一輸送組遠(yuǎn)端和第二輸送組近端具有間隔，所述底座對(duì)應(yīng)間隔處開設(shè)第一孔，所述第一孔下方設(shè)置盒體，所述第一輸送組包括第一平臺(tái)，所述第一平臺(tái)兩側(cè)設(shè)置支架，所述支架上設(shè)置吹風(fēng)裝置，所述吹風(fēng)裝置的出風(fēng)口對(duì)準(zhǔn)所述間隔處，所述硅片輸送到間隔處時(shí)吹風(fēng)裝置吹風(fēng)將硅片表面碎片吹落至盒體，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，碎片吹落效率高。效率高。效率高。

技術(shù)研發(fā)人員：章祥靜 周裕吉

受保護(hù)的技術(shù)使用者：無(wú)錫京運(yùn)通科技有限公司

技術(shù)研發(fā)日：2022.08.25

技術(shù)公布日：2023/1/3