本發(fā)明涉及一種抬包精煉制備低磷硼
多晶硅的方法。其步驟為:1)將造渣劑裝入中頻爐
石墨坩堝中加熱熔化,得到渣夜,保溫;2)在礦熱爐出硅液過程中,向抬包底部持續(xù)通入空氣和氧氣的混合氣體;3)待出硅液完成后,將中頻爐石墨坩堝中的渣液倒入抬包中,同時往抬包里通入氧化性混合氣體進行精煉;4)抬包精煉后,將硅渣一起倒入結(jié)晶器實現(xiàn)渣硅分離,得到提純后的低磷硼多晶硅原料。本發(fā)明具備充分利用和節(jié)約能源、除磷硼效果好,環(huán)境無污染等特點。
聲明:
“抬包精煉制備低磷硼多晶硅的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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