本發(fā)明屬于合金靶材及
粉末冶金材料加工技術(shù)領(lǐng)域,具體提供了一種Al?Sc?X多元合金靶材,所述Al?Sc?X合金靶材由以下重量百分比計(jì)的組分組成:50%~98%Al,1%~48%Sc,1%~49%X,其中所述X為Si、Mg、Ti、V、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、Y、Nb、Mo、Ta、W和Ag中的一種或多種,該合金靶材可以拓展鋁鈧合金靶材應(yīng)用范圍。本發(fā)明進(jìn)一步提供了一種Al?Sc?X多元合金靶材的制備方法,該方法采用粉末冶金熱壓燒結(jié)制備合金靶材,解決了與Al的熔點(diǎn)相差較大的金屬與Al難以實(shí)現(xiàn)冶金結(jié)合的問題,且Sc和X不易發(fā)生氧化反應(yīng),該方法制備流程短,技術(shù)參數(shù)控制準(zhǔn)確,適合批量生產(chǎn)。
聲明:
“Al-Sc-X多元合金靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)