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用于真空磁控濺射粉紅色金靶材及其制備方法

673   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:46:01
一種用于真空磁控濺射粉紅色金靶材及其制備方法,屬于有色金屬冶金技術(shù)領(lǐng)域,用于真空磁控濺射粉紅色金靶材成分按重量百分比含Au82.0~95.0%,Pd0.5~7.0%,F(xiàn)e0.3~4.0%,Cu0.5~3.0%,Cr0.1~3.0%,In0.05~1.0%;方法按以下步驟進(jìn)行:(1)準(zhǔn)備原料;將Au加熱熔化,將Pd放入熔化的Au中,互熔后依次加入Fe、Cu、Cr和In;(2)將金屬熔體攪拌均勻,然后加熱至1200~1300℃,保溫3~5min進(jìn)行精煉;(3)澆注到預(yù)熱的模具中,空冷至常溫,獲得鑄坯;(4)銑面、軋制、退火、剪切和校平。本發(fā)明的粉紅色金靶材應(yīng)用于鍍膜技術(shù)中,可獲得色澤均勻、抗氧化性抗硫化性好、表面硬度高、耐磨性好的粉紅色膜層,具有廣闊的應(yīng)用前景。
聲明:
“用于真空磁控濺射粉紅色金靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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