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復合密度和剛度的微機電固態(tài)陀螺儀

985   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 15:10:02
一種微機電系統(tǒng)技術領域的復合密度和剛度的微機電固態(tài)陀螺儀,包括:檢測質量塊、起振驅動機構和檢測機構,其中:檢測質量塊的上表面和下表面分別對稱設有兩組相同的起振驅動機構和檢測機構;所述的起振驅動機構包括兩個對稱設置于檢測質量塊上表面的驅動電極;所述的檢測機構包括:信號干擾隔離電極、角速度檢測電極和模態(tài)檢測電極,其中:四個角速度檢測電極兩兩對稱地設置于檢測質量塊下表面的外沿,兩個模態(tài)檢測電極對稱布置于檢測質量塊下表面的中部,信號干擾隔離電極環(huán)繞設置于模態(tài)檢測電極的外側。本發(fā)明不需要專門的支撐梁結構,整體結構簡單,抗沖擊能力大,不需要真空封裝,陀螺性能可大大提高。
聲明：
“復合密度和剛度的微機電固態(tài)陀螺儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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