本發(fā)明公開了一種新型高效率的片上中紅外聲光調(diào)制器及其制備方法,所述新型高效率的片上中紅外聲光調(diào)制器包括設(shè)置在基片上的鈮酸鋰?硫系玻璃異質(zhì)層,所述鈮酸鋰?硫系玻璃異質(zhì)層包括鈮酸鋰薄膜以及鈮酸鋰薄膜上異質(zhì)集成的紅外硫系光波導(dǎo),所述紅外硫系光波導(dǎo)由單層或者多層不同組分硫系玻璃薄膜材料組成,所述鈮酸鋰薄膜上設(shè)置叉指換能器,所述叉指換能器包括若干叉指電極。本發(fā)明綜合利用硫系玻璃材料優(yōu)異的聲光特性、紅外譜段透明性與鈮酸鋰薄膜顯著的壓電效應(yīng),集成聲表面波換能器與硫系光波導(dǎo)元件,解決了中紅外光波損耗與聲波損耗之間的平衡問題,進而解決了高頻率瑞利聲表面波與中紅外光波導(dǎo)兩者間互相作用的問題。
聲明:
“新型高效率的片上中紅外聲光調(diào)制器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)