2O5晶體薄膜的制備方法,加工技術(shù)"> 2O5晶體薄膜的制備方法,本發(fā)明公開了一種NaV2O5晶體薄膜的制備方法,該方法主要包括以下步驟:a),將載玻片置于ALD反應(yīng)腔;b),利用ALD技術(shù)在載玻片表面沉積氧化釩薄膜,具體步驟為:向ALD腔內(nèi)注入第一種前驅(qū)體;待反應(yīng)充分后用惰性載氣吹掃;隨后注入第二種反應(yīng)前驅(qū)體;待反應(yīng)充分后用惰性載氣吹掃;c),循環(huán)執(zhí)行上述操作,控制循環(huán)周期數(shù)獲得一定厚度范圍的氧化釩薄膜;d),將樣品置退火爐中,在高純氧氣下300℃結(jié)晶處理;e),將結(jié)晶處理后的樣品置于退火爐中,在還原性氣氛下500℃退">
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