本發(fā)明公開(kāi)了一種輻射源、光刻裝置和器件的制造方法。一種包括陽(yáng)極和陰極的輻射源,所述陽(yáng)極和陰極被構(gòu)造和排列成可以在陽(yáng)極和陰極之間的空間中的氣體或蒸汽中產(chǎn)生放電,進(jìn)而形成等離子體收縮來(lái)產(chǎn)生電磁輻射。所述氣體或蒸汽包括氙氣、銦、鋰和/或錫。為提高熱耗散,輻射源包括多個(gè)放電元件,每個(gè)放電元件只使用短的時(shí)間間隔,之后就選擇其他的放電元件。為改善收縮形成和由之產(chǎn)生的EUV輻射脈沖的精確同步,輻射源包括一個(gè)觸發(fā)器件。為提高轉(zhuǎn)換效率,輻射源設(shè)置為具有低感應(yīng)系數(shù),并運(yùn)行在自觸發(fā)的狀態(tài)。
聲明:
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