本發(fā)明公開了一種反射延遲線型聲表面波濕度傳感器,所述聲表面波濕度傳感器包括壓電基底(1),壓電基底(1)上表面設(shè)置聲表面波叉指換能器(2)和聲表面波反射柵(4),聲表面波反射柵(4)設(shè)置在聲表面波叉指換能器(2)的兩側(cè),在聲表面波叉指換能器(2)和一側(cè)的聲表面波反射柵(4)之間設(shè)置鍍膜區(qū)(3),鍍膜區(qū)(3)的表面涂覆敏感層(5)。本發(fā)明通過采用耐輻射性強(qiáng)的敏感層結(jié)構(gòu)、鈮酸鋰壓電基底及鋁電極結(jié)構(gòu),確保了傳感器在輻射環(huán)境下的穩(wěn)定性,相對濕度區(qū)間為10%?100%的條件下,可以達(dá)到5%的靈敏度,用于核電站反應(yīng)堆冷卻系統(tǒng)管道泄露監(jiān)測的可解決核冷卻管道泄露高濕度監(jiān)控布線難、維護(hù)難的問題。
聲明:
“反射延遲線型聲表面波濕度傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)