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敏感膜圖形化的諧振型聲表面波濕度傳感器

764   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 00:08:22
本發(fā)明公開了一種敏感膜圖形化的諧振型聲表面波濕度傳感器，所述濕度傳感器包括壓電基底(1)，壓電基底(1)的上表面設置聲表面波叉指換能器(2)，聲表面波叉指換能器(2)的兩側(cè)分別設置聲表面波反射柵(4)，在聲表面波叉指換能器(2)和聲表面波反射柵(4)的表面涂覆圖形化敏感膜(3)。本發(fā)明通過敏感膜圖形化的方法降低了諧振器器件損耗，采用耐輻射性強的敏感膜結(jié)構(gòu)、鈮酸鋰壓電基底及鋁電極結(jié)構(gòu)，確保了傳感器在輻射環(huán)境下的穩(wěn)定性，在相對濕度區(qū)間為10％?100％的條件下，可以達到3％的靈敏度，用于核電站反應堆冷卻系統(tǒng)管道泄露監(jiān)測可解決核冷卻管道泄露高濕度監(jiān)控布線難、維護難的問題。
聲明：
“敏感膜圖形化的諧振型聲表面波濕度傳感器” 該技術專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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