本發(fā)明屬于鋰離子電池領(lǐng)域,特別公開了一種硅碳復(fù)合納米管陣列的制備方法。該硅碳復(fù)合納米管陣列的制備方法,其特征為,將多孔陽(yáng)極
氧化鋁模板在惰性氣體下升溫,通入乙炔氣體,乙炔的高溫氣相分解在模板表面生成
碳納米管陣列,然后抽至真空,升溫后通入惰性氣體、氫氣和
硅烷,硅烷分解,得到包含在模板內(nèi)的同軸碳納米管和硅納米管陣列;將其用氫氟酸水溶液浸泡去除模板和表面的氧化硅,干燥后得到產(chǎn)品。本發(fā)明只需要通過(guò)兩步化學(xué)氣相沉積和氫氟酸腐蝕就可以得到管徑、管長(zhǎng)和壁厚可控,尺寸均一的硅碳復(fù)合納米管陣列,整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程沒(méi)有復(fù)雜的設(shè)備且工藝步驟簡(jiǎn)單,便于大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)且產(chǎn)品的穩(wěn)定性較好。
聲明:
“硅碳復(fù)合納米管陣列的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)