本發(fā)明涉及一種MEMS聲波器件,包括壓電層,所述壓電層為鈮酸鋰單晶壓電層,且所述壓電層為(yxl)158°?171°的旋轉(zhuǎn)Y切的切型。本發(fā)明還涉及一種濾波器以及一種電子設(shè)備。
聲明:
“MEMS聲波器件、體聲波諧振器的制作方法、濾波器及電子設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)