本發(fā)明提供了一種紅外熱成像快速無損檢測薄膜厚度均勻性的方法。該方法利用加熱裝置提供均勻、穩(wěn)定的熱通量加熱待測薄膜,加熱后的薄膜向外發(fā)出紅外輻射,紅外攝像裝置接收輻射信號,并將輻射信號轉(zhuǎn)變成電信號,經(jīng)后處理裝置處理后,將待測薄膜表面的溫度分布圖顯示出來。在某一特定時刻,待測薄膜表面的溫度變化的百分比與厚度變化的百分比相等。待測薄膜表面溫度無差異就說明薄膜厚度均勻。該方法可以快速、無損檢測薄膜厚度均勻性,且無視待測薄膜是否導(dǎo)電、是否透明??捎糜?a href="http://www.sc682.com/news_show-3339.html" target="_blank">鋰電池極片、塑料袋的密封檢測等。
聲明:
“紅外熱成像快速無損檢測薄膜厚度均勻性的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)