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共蒸發(fā)裝置和制備電極的設(shè)備

609   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 00:40:55
本實(shí)用新型涉及鋰電池技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種共蒸發(fā)裝置和制備電極的設(shè)備。本實(shí)用新型的共蒸發(fā)裝置包括多個(gè)蒸發(fā)位、蒸發(fā)腔、至少一擋板以及基片臺(tái),多個(gè)蒸發(fā)位、擋板及基片臺(tái)均收納在蒸發(fā)腔內(nèi),多個(gè)蒸發(fā)位和基片臺(tái)分別位于擋板的兩側(cè),至少一擋板形成有一匯流口,多個(gè)蒸發(fā)位用于安裝多個(gè)相同或者不同的蒸料,多個(gè)蒸發(fā)位上的多個(gè)蒸料蒸發(fā)產(chǎn)生的多個(gè)原子匯合在匯流口處形成一混合沉積源,基片臺(tái)用于承載基片且相對(duì)于匯流口可移動(dòng)。本實(shí)用新型的共蒸發(fā)裝置和制備電極的設(shè)備可以同時(shí)進(jìn)行多種蒸料的蒸發(fā)沉積鍍膜,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作方便,生產(chǎn)效率高,符合大規(guī)模生產(chǎn)的需求。
聲明:
“共蒸發(fā)裝置和制備電極的設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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