本發(fā)明提供一種粗品六氟化硫的純化方法,包括以下步驟:裂解除雜;水洗除雜;堿洗除雜;低壓吸附;高壓吸附;精餾除雜。本發(fā)明通過設(shè)置一至六級水洗塔,經(jīng)過多次水洗有效去除粗品六氟化硫中的氟氣、低硫氟化物、亞硫酰氟化物,提高六氟化硫的純度,同時對水洗過程中的副產(chǎn)物氫氟酸進行回收,減少廢水的產(chǎn)生,實現(xiàn)變廢為寶;本發(fā)明通過設(shè)置一至六級堿洗塔,經(jīng)過多次堿洗有效去除六氟化硫中的HF、CO
2、SO
2氣體,提高其純度,堿洗塔產(chǎn)生的廢液通過在堿液收集槽中利用生石灰處理后重復(fù)利用,避免廢液的產(chǎn)生,降低污染,節(jié)約成本。
聲明:
“粗品六氟化硫的純化方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)