本發(fā)明提供一種電沉積處理裝置及方法,其可以將由電沉積產(chǎn)生的處理液中的金屬離子濃度降低到能夠向外部排放的水平,而且由半導(dǎo)體制造裝置產(chǎn)生的廢水量即使較多,也能夠進(jìn)行處理。電沉積處理裝置具有:陰極(3),其使被處理水中的金屬離子以金屬的形態(tài)析出;陽離子交換膜(4),其與陰極(3)相向配置;以及陽極(6),其通過介入陽離子交換體(5)而被設(shè)置為與該陽離子交換膜(4)相對置;其中,將被處理水供給至在陰極(3)和陽離子交換膜(4)之間的空間內(nèi)。
聲明:
“電沉積處理裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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