本發(fā)明提供了一種酸刻蝕硅晶片廢酸液處理方法和系統(tǒng),該處理方法包括:將鈉鹽溶液添加到酸刻蝕硅晶片廢酸液中,并持續(xù)攪拌30~180min,形成第一固液混合物,通過離心,得到氟硅酸鈉固體和第一濾液;向第一濾液中添加氫氧化鈉溶液,控制pH至2?4,并持續(xù)攪拌20~60min,形成第二固液混合物,通過離心,得到氟化氫鈉固體和第二濾液;向第二濾液中添加氯化鈣溶液,調(diào)節(jié)pH至2?4,持續(xù)攪拌20~60min,形成第三固液混合物,通過離心,得到氟化鈣固體和第三濾液;向第三濾液添加石灰乳,調(diào)節(jié)pH至8?9,分離沉淀物和第四濾液,回收第四濾液,并將沉淀物作為
固廢處理。本發(fā)明提供的方案實現(xiàn)了對廢酸液資源化利用。
聲明:
“酸刻蝕硅晶片廢酸液處理方法和系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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