本發(fā)明涉及了一種從硅片切割產(chǎn)生的廢砂漿中回收碳化硅微粉的方法,該方法首先對(duì)廢砂漿利用離心機(jī)進(jìn)行固液分離,將分離后的固態(tài)砂與水混合攪拌;采用磁選除鐵,然后加入一定量的分散劑,并超聲處理;通過(guò)沉降或進(jìn)行水力溢流沖洗實(shí)現(xiàn)硅和碳化硅顆粒的分離以及碳化硅顆粒自身的分級(jí);最后對(duì)分級(jí)后的固體進(jìn)行干燥并進(jìn)一步采用旋風(fēng)分級(jí)機(jī)將未完全分離的硅粉和碳化硅顆粒進(jìn)一步分離,從而獲得高純度的碳化硅粉。本發(fā)明可以有效的回收硅晶棒切割廢砂漿中的碳化硅微粉,回收效率高,環(huán)境污染小,并能滿足硅棒線切割的要求,可循環(huán)使用,極大降低了企業(yè)生產(chǎn)成本。
聲明:
“從硅片切割產(chǎn)生的廢砂漿中回收碳化硅微粉的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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