本發(fā)明提供一種硅單晶金剛線切片用冷卻液回收處理工藝,包括以下步驟:將廢棄冷卻液與吸附材料混合,進行誘導吸附;將混合后的廢棄冷卻液與吸附材料進行固液分離;將分離出的液體進行離子交換,得到再生冷卻液;將分離出的固體與堿液混合,進行超細硅粉與吸附材料的脫附;將脫附后的固體進行篩分過濾,分離出超細硅粉和吸附材料;將分離出的超細硅粉壓濾脫水,得到高純度超細硅粉;將分離出的吸附材料與酸溶液混合,得到再生吸附材料。本發(fā)明的有益效果是回收工藝先進,可以回收高品質的冷卻液,并回收高純度的超細硅粉;運行成本降低,使用的吸附材料使用量少、可再生,總體運行成本為現(xiàn)有技術方法的1/3~1/5。
聲明:
“硅單晶金剛線切片用冷卻液回收處理工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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