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涂覆阻擋涂層的納米結(jié)構(gòu)

774   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:27:34
本發(fā)明涉及包括納米結(jié)構(gòu)的裝置,其中所述納米結(jié)構(gòu)由導(dǎo)電材料制成并且其中所述納米結(jié)構(gòu)由阻擋涂層覆蓋,該阻擋涂層包含Ti、Zr、Hf、Nb、Ta、Mo、Sc、Y、Ge、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Sr、Al、B、Ba、Bi和/或Mg氧化物,厚度至少為約1nm,其中通過原子層沉積(ALD)來沉積所述阻擋涂層。本發(fā)明還涉及在這種裝置中檢測(cè)目標(biāo)化合物的方法以及這種裝置用于表面特異性地產(chǎn)生倏逝場(chǎng)、測(cè)量介質(zhì)的介電性能、檢測(cè)目標(biāo)化合物的存在或濃度、確定目標(biāo)化合物的一級(jí)結(jié)構(gòu)、確定目標(biāo)化合物與對(duì)照值的偏差、擴(kuò)增目標(biāo)化合物或監(jiān)測(cè)目標(biāo)化合物的擴(kuò)增的用途。此外,本發(fā)明涉及制造包括納米結(jié)構(gòu)的裝置的方法,該納米結(jié)構(gòu)允許通過產(chǎn)生倏逝場(chǎng)進(jìn)行表面特異性的檢測(cè)或允許介電傳感,該方法包括通過原子層沉積(ALD)在諸如鋁的導(dǎo)電材料上沉積厚度至少為約1nm的Ti、Zr、Hf、Nb、Ta、Mo、Sc、Y、Ge、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Sr、Al、B、Ba、Bi和/或Mg氧化物阻擋涂層。
聲明:
“涂覆阻擋涂層的納米結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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