本發(fā)明公開(kāi)了一種石英鍍膜擺片性能測(cè)試裝置,包括測(cè)試平臺(tái)、定位架及顯微鏡測(cè)試系統(tǒng),所述定位架與顯微鏡測(cè)試系統(tǒng)固設(shè)于所述測(cè)試平臺(tái)上。本發(fā)明主要是通過(guò)改進(jìn)傳統(tǒng)的接觸性測(cè)量為非接觸型光學(xué)輔助性測(cè)量,將非精確性測(cè)量改進(jìn)為精確性測(cè)量,為擺片在靜態(tài)下的下垂量提供了準(zhǔn)確的測(cè)試數(shù)值,并通過(guò)有關(guān)數(shù)學(xué)公式將比剛度準(zhǔn)確地反映出來(lái)。該性能測(cè)試裝置主要用于對(duì)慣性導(dǎo)航器件石英撓性加速度計(jì)中的重要零件進(jìn)行性能檢測(cè)和質(zhì)量篩選工作。為鍍膜擺片能更好地應(yīng)用在石英撓性加速度計(jì)上提供了可靠的性能保障,避免了因?yàn)殄兡[片性能超差而造成的石英撓性加速度計(jì)在裝配完成之后無(wú)法通過(guò)例試試驗(yàn)。
聲明:
“一種石英鍍膜擺片性能測(cè)試裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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