本發(fā)明公開了一種簡便、快速、穩(wěn)定的氮化硅分析測定方法,依次包括:將氮化鈦或碳氮化鈦試樣用氫氟酸預(yù)處理,再加入硝酸溶解獲得試樣溶液;試樣溶液加入硼酸溶液絡(luò)合試樣溶液中過量的氟;用電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜儀測定試樣溶液中硅元素的發(fā)射強度,然后根據(jù)ρ=AI+B,計算氮化硅分析結(jié)果;本發(fā)明解決現(xiàn)有化學(xué)
分析檢測方法存在的操作過程復(fù)雜,穩(wěn)定性差的問題,以適應(yīng)氮化鈦及碳氮化鈦生產(chǎn)工藝中氮化硅的分析檢測的需要。
聲明:
“氮化鈦或碳氮化鈦中氮化硅量的分析檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)