本發(fā)明提供一種決定過(guò)度研磨時(shí)間的方法,包含步驟有:將予以研磨的多個(gè)特性送入化學(xué)機(jī)械研磨系統(tǒng)中,進(jìn)行研磨以取得各別的過(guò)度研磨時(shí)間與終點(diǎn)檢測(cè)時(shí)間;相關(guān)所得過(guò)度研磨時(shí)間與終點(diǎn)檢測(cè)時(shí)間,推導(dǎo)出一最佳化公式,并且,將該最佳化公式存入該化學(xué)機(jī)械研磨系統(tǒng)中;及將所予進(jìn)行研磨之特性的厚度輸入,即可取得精確的過(guò)度研磨時(shí)間。
聲明:
“決定化學(xué)機(jī)械研磨的過(guò)度研磨時(shí)間的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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