本發(fā)明屬于光電子技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種對光柵-光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)光譜儀的改進,尤其是涉及對光譜儀中集成光路組件的改進。本發(fā)明由光源、聚焦透鏡、光譜信號處理系統(tǒng)、硅基片、樣品窗口、光波導(dǎo)薄膜、棱鏡和光波導(dǎo)襯底組成,本發(fā)明用棱鏡-光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)取代光柵-光波導(dǎo)結(jié)構(gòu),提高了耦合效率和色散能力;造價低、應(yīng)用范圍大;雜散光干擾少,光譜分辨率高。本發(fā)明是一種小型化、集成化、便于攜帶和高靈敏度的光譜儀。
聲明:
“用于化學(xué)分析的新型集成光路結(jié)構(gòu)光譜儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)